在精確測量行業中，三坐標光柵尺及之后的容柵、磁柵、激光干涉儀的出現，把規格信息內容智能化，不僅能夠進行數據顯示，并且為幾何量測量的電子計算機處理和操縱奠定基礎。

三坐標檢測儀可以說是“一種具備可作三個方位移動的探測儀，可在三個互相豎直的導軌上移動，此探測儀以接觸或者非接觸等方法傳輸信號，三個軸的位移測量系統(如電子光學尺)經數據信息處理器或電子計算機等測算出產品工件的各點坐標(X、Y、Z)及各類作用精確測量的儀器設備”。其檢測儀的精確測量作用應包含規格精密度測量、定位精度測量、幾何圖形精密度測量及輪廓精密度測量等。